半導(dǎo)體,化工材料制造檢測(cè)中也多用到熱解吸儀設(shè)備
· GBT 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測(cè)定硅片表面的有機(jī)污染物· GBT 33871-2017 墨粉中總揮發(fā)性有機(jī)化合物(TVOC)、苯和苯乙烯的測(cè)定 熱脫附-氣相色譜法